パルスYAGレーザ加工された窒化珪素セラミックスの表面分析

パルスYAGレーザ加工された窒化珪素セラミックスの表面分析講演概要・記念講演[M]199105パルスYAGレーザ加工された窒化珪素セラミックスの表面分析片岡義博(職業訓練大学校)、徳永剛(職業訓練大学校)、中崎一之(職業訓練大学校)、宮崎俊行(千葉工業大学)、金釜憲夫(千葉工業大学)パルスYAGレーザ加工された窒化珪素セラミックスの表面分析118-0068講演概要・記念講演[M]n03079

分類講演概要・記念講演[M]
DOI
掲載年月199105
論文名パルスYAGレーザ加工された窒化珪素セラミックスの表面分析
論文名(英)
研究者片岡義博(職業訓練大学校)、徳永剛(職業訓練大学校)、中崎一之(職業訓練大学校)、宮崎俊行(千葉工業大学)、金釜憲夫(千葉工業大学)
キーワードパルスYAGレーザ加工された窒化珪素セラミックスの表面分析
掲載ページ118-0068
IDn03079