集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャ
bunken-search集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャ講演概要・記念講演[M]200305集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャNanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam田中武雄(大阪産大)、山田修(大阪産大)、松本弘司(大阪産大)Nanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam142-0038講演概要・記念講演[M]n00910
| 分類 | 講演概要・記念講演[M] |
|---|---|
| DOI | |
| 掲載年月 | 200305 |
| 論文名 | 集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャ |
| 論文名（英） | Nanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam |
| 研究者 | 田中武雄(大阪産大)、山田修(大阪産大)、松本弘司(大阪産大) |
| キーワード | Nanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam |
| 掲載ページ | 142-0038 |
| ID | n00910 |
