集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャ
集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャ講演概要・記念講演[M]200305集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャNanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam田中武雄(大阪産大)、山田修(大阪産大)、松本弘司(大阪産大)Nanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam142-0038講演概要・記念講演[M]n00910
分類 | 講演概要・記念講演[M] |
---|---|
DOI | |
掲載年月 | 200305 |
論文名 | 集束イオンビームを用いたナノ加工とマイクロマニュファクチャ |
論文名(英) | Nanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam |
研究者 | 田中武雄(大阪産大)、山田修(大阪産大)、松本弘司(大阪産大) |
キーワード | Nanofabrication and Micromanufacture with Focused Ion Beam |
掲載ページ | 142-0038 |
ID | n00910 |