作品名

半導体製造装置用真空チャンバ
（アルミニウム合金のピンホールレス砂型鋳物）

谷田合金株式会社

作品紹介・受賞のポイント

｜半導体製造に用いられるプラズマエッチング装置等の真空容器

｜ピンホール欠陥撲滅のため，砂型を使用した差圧鋳造技術を実用化

｜AC4CH合金をベースにSi量を低減した合金を開発，陽極酸化処理皮膜の緻密性を向上

｜真空チャンバーを鋳物化し，製造コストの低減，製作時間の短縮，大型化に成功

受賞者コメント

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