作品名
半導体製造装置用真空チャンバ
(アルミニウム合金のピンホールレス砂型鋳物)
谷田合金株式会社
作品紹介・受賞のポイント
|半導体製造に用いられるプラズマエッチング装置等の真空容器
|ピンホール欠陥撲滅のため,砂型を使用した差圧鋳造技術を実用化
|AC4CH合金をベースにSi量を低減した合金を開発,陽極酸化処理皮膜の緻密性を向上
|真空チャンバーを鋳物化し,製造コストの低減,製作時間の短縮,大型化に成功
受賞者コメント
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公益社団法人日本鋳造工学会|Japan Foundry Engineering Society
作品名
半導体製造装置用真空チャンバ
(アルミニウム合金のピンホールレス砂型鋳物)
谷田合金株式会社
|半導体製造に用いられるプラズマエッチング装置等の真空容器
|ピンホール欠陥撲滅のため,砂型を使用した差圧鋳造技術を実用化
|AC4CH合金をベースにSi量を低減した合金を開発,陽極酸化処理皮膜の緻密性を向上
|真空チャンバーを鋳物化し,製造コストの低減,製作時間の短縮,大型化に成功
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