EPMAとはどういう分析方法なのでしょうか．

EPMAとは，Electron Probe(X-ray) Micro Analyzer：X線マイクロアナライザの頭文字をとったものである．材料の表面形態を観察する顕微鏡の一つであるSEM(Scanning Electron Microscope：走査型電子顕微鏡)に波長分散形X線検出機（WDXあるいはWDS：wavelength-dispersive X-ray spectrometer）を取り付けて，試料表面の元素の同定や定量分析をする装置のことである．

EPMAは集束レンズ，対物レンズ等の電子レンズで電 子線を絞り試料表面に照射する際に，電子線が通過する経路にある走査コイルで電子線を任意に操作して，自由に試料上を動かしながら，試料から発生する電子 [反射電子・吸収電子・２次電子など]と電磁波[Ｘ線や光など]などの信号を電子検出機とX線検出器で検出する．この時に，試料に含まれる各元素から発生 するそれぞれの特性X線をWDXで測定することで，精密な元素分析や，X線スペクトル解析による試料の状態分析ができる．

EPMAと類似の分析装置として，高分解能のSEMにエネルギー分散形X線検出器（EDXあるいはEDS：Energy dispersive X-ray spectrometer）をつけたSEM-EDXもよく知られている．最近の技術の進歩も著しく一概には言えないが，高い分析精度を求められる場合には EPMA，高分解能が要求される場合はSEM-EDXを選択するなどの使い分けもされている．